Страницу Назад
Поискать другие аналоги этой работы
15 Разработка источников диффузионного легирования для производства кремниевых солнечных элементовID: 84123Дата закачки: 11 Ноября 2012 Продавец: GnobYTEL (Напишите, если есть вопросы) Посмотреть другие работы этого продавца Тип работы: Диплом и связанное с ним Форматы файлов: Microsoft Word Описание: СОДЕРЖАНИЕ Введение....................................................................................................... 6 1. Источники примесей для диффузионного легирования кремния и технология диффузии примесей в кремний................................................ 10 1.1. Источники примесей для диффузионного легирования кремния...... 10 1.1.1. Твердые планарные источники (ТПИ) ............................................ 11 1.1.1.1. Источники для диффузии бора ..................................................... 12 1.1.1.1.1. ТПИ на основе нитрида бора...................................................... 13 1.1.1.1.2.ТПИ на основе материалов, содержащих B2O3.......................... 14 1.1.1.2. Источники для диффузии фосфора................................................ 15 1.1.1.2.1. ТПИ на основе нитрида фосфора (PN) ...................................... 16 1.1.1.2.2. ТПИ на основе метафосфата алюминия..................................... 17 1.1.1.2.3. ТПИ на основе пирофосфата кремния........................................ 18 1.1.2. Жидкие источники............................................................................. 19 1.1.3. Газообразные источники................................................................... 22 1.1.4. Твердые источники............................................................................ 25 1.1.5. Поверхностные источники на основе простых неорганических соединений................................................................................................... 27 1.1.6. Стеклообразные диффузанты........................................................... 29 1.1.7. Легированные окислы ...................................................................... 32 1.1.7.1. Получение пленок стекла методом пиролитического разложения 32 1.1.7.2. Источники, полученные осаждением пленок стекла из пленкообразующих растворов..................................................................................................... 35 1.1.7.2.1. Приготовление пленкообразующих растворов, их нанесение и термодеструкция...................................................................................................................... 37 1.1.7.2.2. Диффузия бора и фосфора в кремний из пленок двуокиси кремния, полученных из пленкообразующих растворов.......................... 42 1.2. Технология диффузии примесей в кремний ...................................... 45 1.2.1. Диффузия в запаянной и откачанной кварцевой ампуле................. 46 1.2.2. Метод открытой трубы..................................................................... 49 1.2.3. Диффузия в замкнутом объеме (бокс-метод) ................................... 52 1.2.4. Стимулированная диффузия............................................................. 55 2. Технология и оборудование для проведения процесса диффузии и контроля параметров диффузионных слоев............................................................... 56 3. Разработка технологии изготовления источников диффузионного легирования кремния бором и фосфором и их исследование....................................................... 62 3.1. Разработка и испытание поверхностного источника бора на основе спиртового раствора борной кислоты........................................................................... 62 3.2. Разработка и испытание поверхностного источника фосфора на основе спиртового раствора ортофосфорной кислоты............................................................. 66 3.3. Исследование твердого планарного источника на основе нитрида бора 68 3.4. Разработка и испытание источника на основе легированного окисла 73 4. Практическое использование разработанных источников диффузанта для изготовления структур кремниевых солнечных элементов................ 75 4.1. Изготовление кремниевого СЭ на основе кремния p-типа................. 75 4.2. Создание омических контактов на структурах солнечных элементов электрохимическим осаждением никеля..................................................... 76 4.3. Измерение основных параметров на структурах солнечных элементов 77 Выводы........................................................................................................ 82 5. Охрана труда........................................................................................... 83 5.1. Анализ условий труда.......................................................................... 83 5.2. Электробезопасность............................................................................ 85 5.3. Расчет защитного заземления.............................................................. 85 5.4. Техника безопасности при работе с химическими веществами.......... 89 5.5. Освещенность рабочего места............................................................. 90 5.6. Оздоровление воздушной среды......................................................... 92 5.7. Пожарная безопасность....................................................................... 93 6. Экономическая часть............................................................................... 95 Литература................................................................................................... 99 Размер файла: 1 Мбайт Фаил: (.zip)
Скачано: 1 Коментариев: 0 |
||||
Есть вопросы? Посмотри часто задаваемые вопросы и ответы на них. Опять не то? Мы можем помочь сделать! Некоторые похожие работы:К сожалению, точных предложений нет. Рекомендуем воспользоваться поиском по базе. |
||||
Не можешь найти то что нужно? Мы можем помочь сделать! От 350 руб. за реферат, низкие цены. Спеши, предложение ограничено ! |
Вход в аккаунт:
Страницу Назад
Cодержание / Дипломные проекты / Разработка источников диффузионного легирования для производства кремниевых солнечных элементов
Вход в аккаунт: