Все разделы / Электроника /


Страницу Назад
Поискать другие аналоги этой работы



Электронно-лучевая литография

Дата закачки: 18 Февраля 2013

Автор: Razorvashka
Закачал: Razorvashka
    Посмотреть другие работы этого продавца

Тип работы: Обзор
Форматы файлов: Microsoft Word
Сдано в учебном заведении: РГРТУ

Описание:
Процесс фотолитографии достиг в настоящее время высокой степени совершенства. На современных автоматических линиях пластины кремния обрабатываются без участия человека. Однако разрешающая способность ФЛ достигла теоретического предела, равного ширине линии в 0,8 ... 1 мкм. Для создания субмикронных размеров линий необходимо переходить к другим методам облучения резистов, используя другие длины волн излучения, например облучение электронами, рентгеновскими квантами и ионами. Эти методы объединяются под одним общим названием элионной литографии.
Элионная литография (ЭЛ) позволяет расширить пределы ФЛ за счет более высокой разрешающей способности. Поскольку длина волны электронов при энергии 10 ... 25 кэВ меньше 10-4 мкм, а длина волны рентгеновского излучения 2 ... 10 им, то дифракционные и интерференционные эффекты пренебрежимо малы. Разрешающая способность ЭЛ ограничивается аберрациями отклоняющих систем и взаимодействием частиц друг с другом.


Размер файла: 271,3 Кбайт
Фаил: Упакованные файлы (.rar)

 Скачать Скачать

 Добавить в корзину Добавить в корзину

    Скачано: 6         Сейчас качают: 1         Коментариев: 0


Сдай работу играючи!

Рекомендуем вам также биржу исполнителей. Здесь выполнят вашу работу без посредников.
Рассчитайте предварительную цену за свой заказ.



Страницу Назад

  Cодержание / Электроника / Электронно-лучевая литография

Вход в аккаунт:

Войти

Перейти в режим шифрования SSL

Забыли ваш пароль?

Вы еще не зарегистрированы?

Создать новый Аккаунт




Сайт помощи студентам, без посредников!