Клуб студентов "Технарь". Уникальный сайт с дипломами и курсовыми для технарей.

Электронно-лучевая литография

Дата закачки: 18 Февраля 2013

Автор: Razorvashka
Закачал: Razorvashka
    Посмотреть другие работы этого продавца

Тип работы: Обзор
Форматы файлов: Microsoft Word
Сдано в учебном заведении: РГРТУ

Описание:
Процесс фотолитографии достиг в настоящее время высокой степени совершенства. На современных автоматических линиях пластины кремния обрабатываются без участия человека. Однако разрешающая способность ФЛ достигла теоретического предела, равного ширине линии в 0,8 ... 1 мкм. Для создания субмикронных размеров линий необходимо переходить к другим методам облучения резистов, используя другие длины волн излучения, например облучение электронами, рентгеновскими квантами и ионами. Эти методы объединяются под одним общим названием элионной литографии.
Элионная литография (ЭЛ) позволяет расширить пределы ФЛ за счет более высокой разрешающей способности. Поскольку длина волны электронов при энергии 10 ... 25 кэВ меньше 10-4 мкм, а длина волны рентгеновского излучения 2 ... 10 им, то дифракционные и интерференционные эффекты пренебрежимо малы. Разрешающая способность ЭЛ ограничивается аберрациями отклоняющих систем и взаимодействием частиц друг с другом.


Размер файла: 271,3 Кбайт
Фаил: (.rar)

  Скачать

  Добавить в корзину

    Скачано: 6         Коментариев: 0

Есть вопросы? Посмотри часто задаваемые вопросы и ответы на них.
Опять не то? Мы можем помочь сделать!

Некоторые похожие работы:

Лукашин А.В., Елисеев А.А. Физические методы синтеза наноматериалов
Исследование физико-химических процессов фотолитографии
Технология оптической контактной литографии
Ещё искать по базе с такими же ключевыми словами.