Исследование возможности использования эффекта автодинного детектирования в генераторах на диоде Ганна для контроля параметров вибрации

Современные технологии требуют непрерывного контроля за

многими параметрами технологического процесса и контроля

состояния оборудования. Одними из важнейших являются параметры

механического движения, в частности параметры

периодических перемещений исследуемого объекта в пространстве

( вибрации ). Этими параметрами являются виброперемещение

( амплитуда вибрации ) и виброскорость ( частота вибрации ).

Подобный контроль необходим в самых разных областях: в

полупроводниковой электронике ( контроль вибрации установок

для выращивания кристаллов ), в микроэлектронике ( вибрация

установок фотолитографии ), в машиностроении ( вибрация

станков и биение деталей ), в автомобильной промышленности

( контроль вибрации отдельных узлов автомобилей и всего

автомобиля в целом ), на железнодорожном транспорте ( датчики

приближения поезда ), в энергетике ( контроль вибрации лопаток

газовых турбин ), в авиастроении ( контроль биений турбин ) и

т.д. Этот список можно продолжать достаточно долго, что

говорит о необходимости создания высокоточных вибродатчиков.

В настоящее время разработано достаточно много

вибродатчиков, основанных на различных эффектах ( см. главу

2 ). Все они имеют свои преимущества и недостатки. Кроме того,

существуют определенные трудности в теоретическом описании

и моделировании работы вибродатчиков.

Целью дипломной работы являлось исследовоние возможности

использования эффекта автодинного детектирования в

полупроводниковых СВЧ - генераторах на диоде Ганна для

создания измерителей параметров вибрации и особенностей их

работы.