Схемотехническое и функциональное проектирование вакуумной коммутационной аппаратуры

Необходимость всесторонней интенсификации экономики нераз-

рывно связана с ускорением научно-технического прогресса, важ-

нейшими направлениями которого являются создание и освоение

принципиально новой техники и технологии, автоматизация и меха-

низация производства. Выполнение этих задач требует, в част-

ности, развития вакуумной техники, оказывающей определяющее вли-

яние на создание и производство изделий электроники и все более

широко используемой в других отраслях промышленности.

Разработка новых вакуумных технологий предъявляет к вакуум-

ному оборудованию повышенные требования, разнообразный и меняю-

щийся диапазон значений которых обуславливает необходимость мо-

дернизации и разработки новых конструкций его элементной базы, в

частности, вакуумной коммутационной аппаратуры (ВКА): клапанов,

затворов, натекателей, служащих для периодического сообщения и

герметичного перекрытия вакуумных коммуникаций и управления ва-

куумным режимом. Конструкцией и правильной эксплуатацией ВКА,

являющейся неотъемлемой частью вакуумных систем (ВС), в значи-

тельной степени определяется надежность работы вакуумного техно-

логического оборудования. (ВТО). Вместе с тем традиционное про-

ектирование, основанное на интуитивно-эмпирическом подходе,

исходя из уровня знаний конструктора, не удовлетворяет в полной

мере ужесточившимся требованиям к созданию ВКА (например, необ-

ходимости минимального воздействия потоков газовыделения и заг-