Не рекомендуется использовать Internet Explorer или Microsoft Edge. Сайт может не корректно работать. Скачайте, пожалуйста, современный браузер. Например Chrome или FireFox.
Описание:
Физическая природа свойств твёрдых тел. Фазовые диаграммы и твердые растворы. Структура твердотельных интегральных микросхем. Диффузионные процессы в твердых телах. Основы ионного легирования. Технологические основы микроэлектроники. /124 стр. // BSUIR