Синтез и исследование структуры микро- и наноразмерного гидрогенизированного кремния

ОГЛАВЛЕНИЕ
Введение………………………………………………………………………...6
Глава I. Анализ методов получения гидрогенизированного
кремния и постановка задачи……………………..…………………………...8
1.1 Гидрогенизированный кремний, структура и
свойства………….…………………………………….………………..…8
1.2 Методы синтеза гидрогенизированного кремния...……………….13
1.2.1 Лазерно-плазменное напыление……………………...…......13
1.2.2 Катодное напыление……………………………..…………..16
1.2.3 Ионно-плазменное напыление……………………..………..19
1.2.4 Другие методы синтеза….………………………………..….20
1.3 Постановка задачи…………………………………………………...23

Глава II. Разработка методик синтеза гидрогенизированного кремния………………………………………………………………………...25
2.1 Экспериментальная установка и материалы для синтеза гидрогенизированного кремния………………………………………...25
2.2 Методика получения водорода…………....……………………......26
2.3 Методика исследования структуры в электронном
микроскопе……………………………………………………………….31
Глава III. Получение гидрогенизированного кремния и
исследование его структуры……………………………………………..…...36
3.1 Процесс синтеза гидрогенизированного кремния.………………..36
3.2 Световая микроскопия Neophot 2………………………………..…40
3.3 Электронная микроскопия…………………………………………..42
3.4 Исследование продуктов синтеза…............................................46
Выводы………………………………………………………………………...51
Список используемых источников……………………………....................52

Год сдачи 2010, ФГБОУ ТГТУ, преподаватель к.т.н. доцент Шелохвостов Виктор Прокофьевич, оценка отлично!
В диссертации присутствует: лист задания, пояснительная записка, автореферат, графический материал из 9 листов-название диссертации, цель работы, методика синтеза, установка для синтеза, установка для водорода, процесс синтеза, методика ЭМ, исследование в ЭМВ-100А, исследование продуктов синтеза.