Литография высокого разрешения в технологии полупроводников

Цена:
15 руб.

Состав работы

material.view.file_icon 3D50D658-836A-4D8B-B870-03817E696E63.zip [ 111 KB ]
material.view.file_icon bestref-93448.doc [ 269 KB ]
Работа представляет собой zip архив с файлами (распаковать онлайн), которые открываются в программах:
  • Microsoft Word

Описание

Введение.

Оптическая литография объединяет в себе такие области науки, как оптика, механика и фотохимия. При любом типе печати ухудшается резкость края (рис. 1). Проецирование двумерного рисунка схемы ведет к уменьшению крутизны края, поэтому нужен специальный резист, в котором под воздействием синусоидально модулированной интенсивности пучка будет формироваться прямоугольная маска для последующего переноса изображения травлением или взрывной литографией.

Если две щели размещены на некотором расстоянии друг от друга, то неэкспонируемый участок частично экспонируется по следующим причинам:

1) дифракция;

2) глубина фокуса объектива;

3) низкоконтрастный резист;

4) стоячие волны (отражение от подложки);

5) преломление света в резисте.

Другие работы

Не превратить планету в свалку
На городских свалках даже среднего города ежегодно скапливаются сотни тысяч тонн бытовых отходов. Разлагаясь, они отравляют воздух, почву, подземные воды и превращаются, таким образом, в серьезную опасность для окружающей среды и человека. Вот почему "героями дня" становятся эффективные, безотходные, а главное - экологически чистые технологии промышленной переработки мусора. К их числу принадлежат современные мусоросжигательные заводы, способные обезвредить и утилизировать бытовые отходы и попут
Рефераты Экология и защита окружающей среды
User elementpio : 11 марта 2013
Система инертных газов на танкере и разработка скруббера
ПРОЕКТИРОВАНИЕ ГЛАВНОЙ ПРОПУЛЬСИВНОЙ УСТАНОВКИ. Выбор типа ЭУ и главного двигателя. Определение основных элементов валопровода и передачи. Проектирование вспомогательной установки. Судовая электростанция. Вспомогательная котельная установка (ВК и УК) Проектирование систем СЭУ. Разработка принципиальных схем систем, обслуживающих СЭУ. Определение запасов рабочих сред. Расчет систем ___________________________________________________ ___________________________________________________ Размещение
Рефераты Экология и защита окружающей среды
User Slolka : 17 марта 2013
10 руб.
Автоматизация построения графиков с помощью макросов VBA Excel - вариант 9
Упражнение 1 1. Используя навыки построения таблицы данных с помощью макросов VBA, рассмотренные в п.1.1.1, создать процедуры построения таблицы данных функции y= f (x) , с вводом всех числовых параметров на интервале значений аргументов x0,xn , с шагом dx по вариантам: Вариант 9: Упражнение 2 1. В открытой книге Excel перейти в окно Редактора VisualBasic и создать модуль процедуры типа Sub с любым удобным для пользователя именем, как это было показано в пп. 1.1.1 настоящей методички. П
Информационные технологии и основы программирования НГТУ Работа Лабораторная
User Infanta : 23 марта 2026
400 руб.
Автоматизация построения графиков с помощью макросов VBA Excel - вариант 9
ТЕСТ Русский язык и основы деловой коммуникации
Вопрос №1 В выражениях: памятный сувенир, необычный феномен, - присутствует: скрытая тавтология речевая избыточность речевая недостаточность Вопрос №2 Выберите из числа предложенных способов речевого воздействия 2, реализованных в фразах: «Купи, пожалуйста, купи…. Ну купи… я буду хорошо себя вести… ну купи…..». «Или ты хорошо сдаешь сессию, или никаких поездок на каникулах не будет». приказ убеждение клянченье уговаривание внушение доказывание просьба принуждение Вопрос №3 Соотнесите прив
Русский язык и основы деловой коммуникации ДО СИБГУТИ Тесты
User sibguti-help : 27 ноября 2024
420 руб.
up Наверх