Литография высокого разрешения в технологии полупроводников

Цена:
15 руб.

Состав работы

material.view.file_icon 3D50D658-836A-4D8B-B870-03817E696E63.zip [ 111 KB ]
material.view.file_icon bestref-93448.doc [ 269 KB ]
Работа представляет собой zip архив с файлами (распаковать онлайн), которые открываются в программах:
  • Microsoft Word

Описание

Введение.

Оптическая литография объединяет в себе такие области науки, как оптика, механика и фотохимия. При любом типе печати ухудшается резкость края (рис. 1). Проецирование двумерного рисунка схемы ведет к уменьшению крутизны края, поэтому нужен специальный резист, в котором под воздействием синусоидально модулированной интенсивности пучка будет формироваться прямоугольная маска для последующего переноса изображения травлением или взрывной литографией.

Если две щели размещены на некотором расстоянии друг от друга, то неэкспонируемый участок частично экспонируется по следующим причинам:

1) дифракция;

2) глубина фокуса объектива;

3) низкоконтрастный резист;

4) стоячие волны (отражение от подложки);

5) преломление света в резисте.

Другие работы

Отопление и вентиляция физкультурно-оздоровительного комплекса города Москвы.
Дипломный проект выполнен в полном соответствии с выданным заданием. Технические решения, принятые в рабочих чертежах, соответствуют требованиям экологических, санитарно-гигиенических, противопожарных и других норм, действующих на территории Российской Федерации и обеспечивают безопасную для жизни и здоровья людей эксплуатацию объекта при соблюдении мероприятий предусмотренных в рабочих чертежах и пояснительной записке. По заданным климатическим параметрам был произведен теплотехнический рас
Диплом и связанное с ним ТулГУ Отопление, вентиляция и кондиц. воздуха
User jane2025 : 23 мая 2015
10000 руб.
Схемотехника телекоммуникационных устройств (часть 1). Контрольная работа. Вариант 42.
Задача № 1. Начертить принципиальную схему однотактного резисторного каскада предварительного усиления на БТ, включенном по схеме с ОЭ с эмитерной стабилизацией точки покоя. Рассчитать параметры элементов схемы, режим работы каскада по постоянному току, коэффициент усиления в области средних частот, входные параметры каскада и амплитуду входного сигнала. Исходные данные Марка транзистора КТ351А Амплитуда сигнала на нагрузке, UmН=1.5 В Относительный коэффициент усиления на верхней рабочей частоте
СибГУТИ Схемотехника телекоммуникационных устройств Работа Контрольная
User mirsan : 16 сентября 2015
100 руб.
Проект четырехцилиндрового бензинового двигателя для автомобиля массой 1670 кг (Ne=91,7кВт ; n=6000 об/мин)
Содержание Введение 4 1. Расчёт и выбор исходных параметров 5 2.Тепловой расчет проектируемого двигателя 6 2.1 Топливо 6 2.2 Параметры рабочего тела 6 2.3 Параметры окружающей среды 8 2.4 Расчет параметров в конце процесса впуска 8 2.5 Процесс сжатия 9 2.6 Процесс сгорания 9 2.7 Процесс расширения 10 2.8 Индикаторные и эффективные параметры рабочего цикла, основные параметры цилиндра и двигателя 11 2.9 Построение индикаторной диаграммы 14 2.10 Построение круговой диаграммы фаз газораспреде
Двигатели внутреннего сгорания ТОГУ Работа Курсовая
User dex89 : 13 июня 2012
3000 руб.
Проект четырехцилиндрового бензинового двигателя для автомобиля массой 1670 кг (Ne=91,7кВт ; n=6000 об/мин)
Защита человека от опасностей механического травмирования
содержание Введение Защита человека от опасностей механического травмирования Заключение Список литературы Введение Все работники должны соблюдать правила техники безопасности при эксплуатации техники, сосудов высокого давления, грузоподъемных средств и т. п. Несоблюдение и явное нарушение мер предосторожности при обслуживании техники, оборудования может привести к большому числу несчастных случаев, иной раз имеющих смертельный исход. Травмы, как правило, следствие не случайного стечения обстоя
Безопасность жизнедеятельности (БЖД) Работа
User Slolka : 21 марта 2014
15 руб.
up Наверх