Литография высокого разрешения в технологии полупроводников

Цена:
15 руб.

Состав работы

material.view.file_icon 3D50D658-836A-4D8B-B870-03817E696E63.zip [ 111 KB ]
material.view.file_icon bestref-93448.doc [ 269 KB ]
Работа представляет собой zip архив с файлами (распаковать онлайн), которые открываются в программах:
  • Microsoft Word

Описание

Введение.

Оптическая литография объединяет в себе такие области науки, как оптика, механика и фотохимия. При любом типе печати ухудшается резкость края (рис. 1). Проецирование двумерного рисунка схемы ведет к уменьшению крутизны края, поэтому нужен специальный резист, в котором под воздействием синусоидально модулированной интенсивности пучка будет формироваться прямоугольная маска для последующего переноса изображения травлением или взрывной литографией.

Если две щели размещены на некотором расстоянии друг от друга, то неэкспонируемый участок частично экспонируется по следующим причинам:

1) дифракция;

2) глубина фокуса объектива;

3) низкоконтрастный резист;

4) стоячие волны (отражение от подложки);

5) преломление света в резисте.

Другие работы

Проектирование металлорежущего токарно-винторезного станка 16К20
1. Общий раздел 3 1.1 Введение, роль станкостроения в развитии промышленности. 3 1.2 Назначение коробок скоростей, их виды, достоинства и недостатки. 3 2. Кинематический расчет 5 2.1 Расчет частот вращения шпинделя и установление их по геометрическому ряду*. 5 Установим ряд частот шпинделя согласно нормали станкостроения Н II-1: 6 2.2 Выбор оптимального варианта структурной формулы коробки скоростей. 6 2.3 Построение структурных сеток коробки скоростей и выбор оптимального варианта. 7 2.4 Постро
Металлорежущие станки Работа Курсовая
User Рики-Тики-Та : 17 мая 2012
55 руб.
Бюджетный дефицит и способы его финансирования
Циклический дефицит госбюджета – результат действия встроенных стабилизаторов. Структурный дефицит госбюджета – разность между расходами и доходами бюджета в условиях полной занятости. Операционный дефицит госбюджета – общий дефицит госбюджета за вычетом инфляционной части процентных платежей по обслуживанию государственного долга. Первичный дефицит госбюджета – разность между величиной общего дефицита и всей суммой выплат по долгу. Квазифискальный дефицит госбюджета – скрытый дефицит госбюджета
Государство и право Работа
User alfFRED : 18 января 2013
Контрольная работа по дисциплине: Технологии социально-психологической работы. Вариант 05
Тема: «Объекты социально-психологических технологий работы с населением» Содержание Введение 3 1. Технология социальной работы как отрасль социальных технологий 4 2. Проблемы, предмет и объект социальной психологии 6 2.1 Методы эмпирического исследования 8 2.2 Моделирование 11 2.3 Методы управленческо-воспитательного воздействия 11 2.4 Методы социально-психологического воздействия 12 3. Технологии социальной работы с населением 14 3.1 Технологии социальной работы с семьей 14 3.2 Технологии соц
ДО СИБГУТИ Технологии социально-психологической работы Работа Контрольная
User Учеба "Под ключ" : 15 июля 2025
600 руб.
promo
Средства связи с подвижными объектами. Лабораторная работа.
Лабораторное задание: 1.1 Познакомиться с компьютерной программой “ОКАMURА”. 1.2 Приобрести навык расчета зоны обслуживания радиосети для определённых технических условий (задача 1 контрольной работы). 1.3 Получить экспериментально зависимость размеров и конфигурации зоны обслуживания сети подвижной радиосвязи от: - характера рельефа местности. - параметров передатчика базовой станции - параметров приемника 2. Выполнение работы
СибГУТИ Радиотехника и радиосвязь Работа Лабораторная
User student90s : 17 июля 2015
25 руб.
up Наверх