Литография высокого разрешения в технологии полупроводников

Цена:
15 руб.

Состав работы

material.view.file_icon 3D50D658-836A-4D8B-B870-03817E696E63.zip [ 111 KB ]
material.view.file_icon bestref-93448.doc [ 269 KB ]
Работа представляет собой zip архив с файлами (распаковать онлайн), которые открываются в программах:
  • Microsoft Word

Описание

Введение.

Оптическая литография объединяет в себе такие области науки, как оптика, механика и фотохимия. При любом типе печати ухудшается резкость края (рис. 1). Проецирование двумерного рисунка схемы ведет к уменьшению крутизны края, поэтому нужен специальный резист, в котором под воздействием синусоидально модулированной интенсивности пучка будет формироваться прямоугольная маска для последующего переноса изображения травлением или взрывной литографией.

Если две щели размещены на некотором расстоянии друг от друга, то неэкспонируемый участок частично экспонируется по следующим причинам:

1) дифракция;

2) глубина фокуса объектива;

3) низкоконтрастный резист;

4) стоячие волны (отражение от подложки);

5) преломление света в резисте.

Другие работы

Значение сегментной отчетности предприятия для внешних и внутренних пользователей в ПФ "Ново-Ездоцкая" Яковлевского района
Введение 1. Теоретические основы и нормативное регулирование бухгалтерской (финансовой) отчетности 1.1 Обзор литературных источников 1.2 Нормативное регулирование сегментной отчетности предприятия 2. Характеристика птицефабрики ПФ "Ново-Ездоцкая" 2.1 Организационно-экономическая характеристика предприятия ПФ "Ново-Ездоцкая" 2.2 Организация учетной работы 3. Значение сегментной отчетности предприятия для внешних и внутренних пользователей 3.1 Понятие сегментной отчетности 3.2 Раскрытие и
Бухгалтерский учет и аудит Работа Курсовая
User alfFRED : 7 сентября 2013
10 руб.
Теплотехника ТОГУ-ЦДОТ 2008 Задача 4 Вариант 36
Определить потребную поверхность рекуперативного теплообменника, в котором вода нагревается горячими газами. Расчет произвести для прямоточной и противоточной схемы. Значения температур газа t′1 и t″1, воды t′2 и t″2, расхода воды M и коэффициента теплопередачи K выбрать из табл. 29. Какая из схем теплообменников (прямоточная или противоточная) имеет меньшую поверхность и почему? С какой стороны стенки необходимо ставить ребра, чтобы заметно увеличить теплопередачу?
Задачи Теплотехника
User Z24 : 23 января 2026
200 руб.
Теплотехника ТОГУ-ЦДОТ 2008 Задача 4 Вариант 36
Реферат Мобильная связь пятого поколения 5G
Реферат на тему: Мобильная связь пятого поколения 5G
ДО СИБГУТИ Работа Контрольная Введение в специальность
User violent2712 : 12 декабря 2024
80 руб.
Лабораторная работа №2, 7-й вариант, 7-й семестр
Тема: Классы Object Pascal, С++ Цель: Сформировать практические навыки: реализации абстрактного типа данных с помощью классов Object Pascal, С++. Задание 1. В соответствии с приведенной ниже спецификацией реализовать абстрактный тип данных «р-ичная память», используя класс • Object Pascal, • C++. 2. Протестировать каждую операцию, определенную на типе данных одним из методов тестирования. Спецификация типа данных «р-ичная память». ADT TMemory Данные Р-ичная память (тип TMemory, в дальнейшем - п
******* Не известно Современные технологии программирования Работа Лабораторная
User sanrus72 : 2 июля 2017
120 руб.
up Наверх