Принципы измерения расстояний и линейных перемещений

С О Д Е Р Ж А Н И Е
Принципы измерения расстояний и линейных перемещений....................3
2 Описание принципа работы и оптических схем интерферометров
со счетом полос..............................................................................................5
2.1 Интерферометр со счетом полос на основе квадратурных сигналов........5
2.2 Интерферометр со счетом полос на основе частотной модуляции............7
3 Исследование погрешности измерения перемещений................................10
3.1 Анализ основных состовляющих погрешности измерения
перемещений
3.2 Исследование погрешности показателя преломления воздуха...................11
3.3 Определение погрешности измерения расстояния......................................12
3.4 Определение положения ближней и дальней зоны.....................................14
ПРИЛОЖЕНИЯ......................................................................................................15
СПИСОК ЛИТЕРАТУРЫ ....................................................................................25