Мікромеханічний акселерометр на рухомому об’єкті

В двадцятому столітті, коли розвиток техніки має надзвичайно високі темпи, з’явилась велика кількість технічних засобів, які дали поштовх до розвитку нових галузей промисловості, котрі змогли б мініатюризувати та покращити існуючу техніку. На сьогоднішній день можна сказати, що перспективним є розробка приладів, котрі мали б малу масу, не великі габарити, але хороші технічні характеристики, малу собівартість, високу надійність.
Мініатюризація навігаційних систем вимагає створення малогабаритних гіроскопічних датчиків. Пошук нових можливостей створення інерційних датчиків з необхідними характеристиками й прогрес в області мікроелектроніки привели до появи нового класу приладів - мікромеханічних акселерометрів (ММА). Поява мікромеханічних пристроїв, побудованих звикористанням MEMS- технологій (MEMS – Micro Electromechanical Systems) ознаменувала революційні зміни в інерційній технології. В теперешній час питанню створення й використання ММА присвячена все більша увага розробників і споживачів малогабаритних датчиків параметрів руху.
Сучасні ММА значно поступаються по точності традиційним електромеханічним акселерометрам, але вони є кращими за масогабаритними характеристиками, показниками собівартості й енергоспоживання. Розроблені зразки ММА характеризуються надмалою масою (частки грамів) і габаритами (одиниці міліметрів), низькою собівартістю (десятки доларів на одну вісь вимірювання) і енергоспоживанням, високою стійкістю до механічних (ударні впливи до 105 g) і теплових впливів (від - 40°С до +85°С) і достатньою точністю.
Провідне положення в розробці ММА займає Draper Laboratory (США), що досліджує можливість створення мікромеханічних датчиків з початку 80-х років минулого століття. Різні технічні рішення в області розробок мікромеханічних інерційних датчиків отримані й запатентовані рядом закордонних фірм (Rockwell International, Systron Donner, Analog Devices, Sagem, Murata й ін.).
Істотне зниження масогабаритних, вартісних й енергетичних характеристик відкриває нові шляхи використання ММА в цивільній і військовій областях, де раніше їхнє застосування було неможливо через масогабаритні обмеження або стримувалося через економічні міркування. Найбільш привабливим для розробників є потенційний ринок комерційного цивільного використання датчиків, що на порядки перевищує обсяги можливого ринку військової техніки. Серед можливих областей застосування ММА в якості датчиків параметрів руху можна назвати наступні: