33

Технология оптической контактной литографии

ID: 75134
Дата закачки: 13 Сентября 2012
Продавец: ostah (Напишите, если есть вопросы)
    Посмотреть другие работы этого продавца

Тип работы: Рефераты
Форматы файлов: Microsoft Word

Описание:
Оглавление

Введение 3
Современные литографические процессы в технологии ППП и ИС. 3
Фоторезисты. 5
Фотошаблоны. 7
Контактная фотолитография. 8
Дефекты при проведении процесса контактной фотолитографии. 8
Бесконтактная фотолитография. 10
Рентгеновская литография. 10
Электронно-лучевая литография. 12
Описание технологического процесса 14
Выбор и описание технологического оборудования 17
Оценка технологического процесса 25
Ведомость технологической документации 26
Ведомость оборудования 27
Маршрутная карта 28
Карта операционного контроля 32
Операционная карта универсальная 33
Заключение 36
Список литературы 37



Размер файла: 1,3 Мбайт
Фаил: (.rar)

Скачать

Добавить в корзину

Занесено в корзину

    Скачано: 1         Коментариев: 0

Есть вопросы? Посмотри часто задаваемые вопросы и ответы на них.
Опять не то? Мы можем помочь сделать!

Некоторые похожие работы:

К сожалению, точных предложений нет. Рекомендуем воспользоваться поиском по базе.