Технология оптической контактной литографии
-
Категории:
Рефераты, Электроника
-
Добавлен:
13.09.2012
-
Размер:
1 MB
-
Покупок:
1
-
Добавил:
ostah
Написать сообщение
Скачать
Состав работы
|
1.doc
|
Необходимые программы
Работа представляет собой rar архив с файлами (распаковать онлайн), которые открываются в программах:
- Microsoft Word
Описание
Оглавление
Введение 3
Современные литографические процессы в технологии ППП и ИС. 3
Фоторезисты. 5
Фотошаблоны. 7
Контактная фотолитография. 8
Дефекты при проведении процесса контактной фотолитографии. 8
Бесконтактная фотолитография. 10
Рентгеновская литография. 10
Электронно-лучевая литография. 12
Описание технологического процесса 14
Выбор и описание технологического оборудования 17
Оценка технологического процесса 25
Ведомость технологической документации 26
Ведомость оборудования 27
Маршрутная карта 28
Карта операционного контроля 32
Операционная карта универсальная 33
Заключение 36
Список литературы 37
Введение 3
Современные литографические процессы в технологии ППП и ИС. 3
Фоторезисты. 5
Фотошаблоны. 7
Контактная фотолитография. 8
Дефекты при проведении процесса контактной фотолитографии. 8
Бесконтактная фотолитография. 10
Рентгеновская литография. 10
Электронно-лучевая литография. 12
Описание технологического процесса 14
Выбор и описание технологического оборудования 17
Оценка технологического процесса 25
Ведомость технологической документации 26
Ведомость оборудования 27
Маршрутная карта 28
Карта операционного контроля 32
Операционная карта универсальная 33
Заключение 36
Список литературы 37
Другие работы
Контрольная работа №1 По дисциплине «Электротехника и электроника» вариант 9, СИБГУТИ
kent_193
: 21 декабря 2009
По выходным характеристикам полевого транзистора (рис.1) построить передаточную характеристику при указанном напряжении стока. Определить дифференциальные параметры полевого транзистора и построить их зависимости от напряжения на затворе.
Исходные данные: Тип ПТ – КП312А Uси0=6В, Uзи0-3,6В
Задача 2
Используя характеристики заданного биполярного транзистора определить h- параметры биполярного транзистора и построить зависимость этих параметров от тока базы. Сделать вывод о зависимости параметро
kent_193
: 21 декабря 2009
150 руб.
Автоматический ключ АШК-Плакат-Картинка-Фотография-Чертеж-Оборудование для бурения нефтяных и газовых скважин-Курсовая работа-Дипломная работа-Формат Picture-Jpeg
as.nakonechnyy.92@mail.ru
: 18 декабря 2017
Автоматический ключ АШК-Плакат-Картинка-Фотография-Чертеж-Оборудование для бурения нефтяных и газовых скважин-Курсовая работа-Дипломная работа-Формат Picture-Jpeg
as.nakonechnyy.92@mail.ru
: 18 декабря 2017
195 руб.
Грузовое АТП с разработкой агрегатного участка и мобильного приспособления для перемещения устройства выпрессовки шкворней поворотных кулаков
Рики-Тики-Та
: 16 сентября 2012
Содержание
ВВЕДЕНИЕ
1 Технический расчет…………………………………………………............
1.1. Исходные данные для проектирования…………………………………...
1.2. Расчет программ технического обслуживания и ремонта……………….
1.3. Расчет объемов технический воздействий……………………………….
1.4. Формирование производственной структуры технической службы АТП………………………………………………………………………………
1.5. Расчет объемов технических воздействий……………………………….
1.6. Обоснование режима работы и принимаемых форм организации..........
1.7. Расчет чи
Рики-Тики-Та
: 16 сентября 2012
825 руб.
Вал электроцентробежного насоса-Чертеж-Оборудование для добычи и подготовки нефти и газа-Курсовая работа-Дипломная работа
nakonechnyy.1992@list.ru
: 28 июля 2016
Вал электроцентробежного насоса-(Формат Компас-CDW, Autocad-DWG, Adobe-PDF, Picture-Jpeg)-Чертеж-Оборудование для добычи и подготовки нефти и газа-Курсовая работа-Дипломная работа
nakonechnyy.1992@list.ru
: 28 июля 2016
190 руб.
