Все разделы / Электроника физическая /


Страницу Назад
Поискать другие аналоги этой работы

За деньгиЗа деньги (500 руб.)

Исследование физико-химических процессов фотолитографии

ID: 99552
Дата закачки: 27 Июня 2013

Автор: Ольга
Продавец: olkabratsk
    Посмотреть другие работы этого продавца

Тип работы: Рефераты
Форматы файлов: Microsoft Word
Сдано в учебном заведении: ТУСУР

Описание:
Содержание
Введение……………………………………………...………..............................3
1. Механизм процесса фотолитографии …...........................................................4
2. Анализ известных видов литографии, их технологических возможностей.……………………….................................................................8
2.1. Рентгеновская литография.......................................................................8
2.2. Электронно-лучевая литография...........................................................11
3. Факторы, влияющие на разрешающую способность различных видов литографии ………….....................................................................................15
3.1. Анализ факторов, влияющих на разрешающую способность контактной фотолитографии……………….…............................................…15
3.2. Анализ факторов, влияющих на разрешающую способность электронной литографии ………………….…................................................17
4. Анализ факторов, определяющих параметры и свойства фоторезисторов..............................................................................................22
Заключение…………………………………………………………………….....25
Список используемых источников…………………………………………......27
Разработка темы «Исследование физико-химических процессов фотолитографии» в настоящее время является весьма актуальной. Фотолитография, являясь на сегодняшний день одной из наиболее часто и широко используемых в микроэлектронике операций, открывает широкие возможности для получения защитных масок с элементами субмикронного размера и в то же время представляет собой один из наиболее сложных, противоречивых процессов в производстве микроэлектронных компонентов. Несомненно, в связи с бурным развитием технологии вообще, и особенно с приближением к ее физическим границам, фотолитография претерпела значительные изменения, и многие исходные утверждения подверглись значительным корректировкам. Также необходимо отметить, что на данный момент только литография обеспечивает возможность массового производства ИС с минимальными критическими размерами.
Данная цель предполагает постановку и решение следующих задач:
1. описать механизм процесса фотолитографии;
2. рассмотреть наиболее известные виды литографии, их технологические возможности ;
3. охарактеризовать факторы, влияющие на разрешающую способность различных видов литографии;
4. провести анализ факторов, определяющих параметры и свойства фоторезисторов .
Предметом исследования выступают физико-химические процессы фотолитографии.
При изучении и написании данной работы, была использована информация, собранная из специальной литературы, экономические консультации справочных систем. Использовались журналы, методические пособия, научные статьи.





Комментарии: Работа сдана в 2012 году.Зачтено

Размер файла: 258,5 Кбайт
Фаил: Microsoft Word (.docx)

 Скачать Скачать

 Добавить в корзину Добавить в корзину

        Коментариев: 0


Есть вопросы? Посмотри часто задаваемые вопросы и ответы на них.
Опять не то? Мы можем помочь сделать!

Некоторые похожие работы:

К сожалению, точных предложений нет. Рекомендуем воспользваться поиском по базе.


Что бы написать комментарий, вам надо войти в аккаунт, либо зарегистрироваться.

Страницу Назад

  Cодержание / Электроника физическая / Исследование физико-химических процессов фотолитографии

Вход в аккаунт:

Войти

Забыли ваш пароль?

Вы еще не зарегистрированы?

Создать новый Аккаунт


Способы оплаты:
Z-PAYMENT VISA Card MasterCard Yandex деньги WebMoney Сбербанк или любой другой банк SMS оплата ПРИВАТ 24 qiwi PayPal

И еще более 50 способов оплаты...
Гарантии возврата денег

Как скачать и покупать?

Как скачивать и покупать в картинках

Здесь находится аттестат нашего WM идентификатора 782443000980
Проверить аттестат


Сайт помощи студентам, без посредников!